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TXRF 3760 系列日本理學(xué)RIGAKUT 全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜儀

更新時(shí)間：2025-04-23      瀏覽次數(shù)：21

TXRF 3760 系列

全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜儀

對(duì)晶圓表面的污染進(jìn)行無(wú)損、非接觸式和高靈敏度分析

轉(zhuǎn)子式高功率 X 射線發(fā)生器和新設(shè)計(jì)的入射 X 射線單色器

過(guò)渡金屬 LLD 10 采用直接 TXRF 測(cè)量方法8 原子/厘米2達(dá)到水平。 在封閉 X 射線管測(cè)量時(shí)間的 1/3 內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)相同的精度，從而實(shí)現(xiàn)高通量。


TXRF 3760 表面污染計(jì)量系統(tǒng)


TXRF 3760 規(guī)格

產(chǎn)品名稱(chēng)TXRF 3760 系列
技術(shù)全內(nèi)反射 X 射線熒光 （TXRF）
用從 Na 到 You 的元素分析以測(cè)量晶圓污染
科技帶無(wú)液氮檢測(cè)器的 3 光束 TXRF 系統(tǒng)
主要組件適用于最大 200 mm 晶圓的 XYθ 樣品臺(tái)系統(tǒng)、真空晶圓中的機(jī)器人傳輸系統(tǒng)、ECS/GEM 通信軟件
選擇Sweep TXRF 軟件（能夠映射晶圓表面的污染物分布以識(shí)別“熱點(diǎn)"）。 ZEE-TXRF 功能可實(shí)現(xiàn)零邊沿排除測(cè)量）
控制 （PC）內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng)
本體尺寸1000 （寬） x 1760 （高） x 948 （深） 毫米
質(zhì)量100 kg（主機(jī)）
權(quán)力三相 200 VAC 50/60 Hz，100 A



電話：TEL

86-010-67868591

地址：ADDRESS

朝陽(yáng)區(qū)住邦2000商務(wù)樓A座1號(hào)樓406B

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